コンピュータ、マイクロエレクトロニクス、情報技術の発展に伴い、電子機器製造業の急速な発展が促進され、クリーンルーム技術の開発も推進されています。同時に、より高い要求の設計のために提出されています 部屋も小ぎれい(モジュール。電子制造業のクリーンルーム設計は、総合的な技術だ。
電子制造業界の無粉塵工場の設計特性を十分に把握し、合理的な設計を実現してこそ、電子制造業界の制品欠陥率を下げ、生産効率を高めることができる。
電子クリーンルームの特長
清浄度が高いことが求められます。風量、温度、湿度、圧力差、機器排気はオンデマンドで制御されます。照明やクリーンルーム部分の風速は、設計や仕様に応じて制御されています。さらに、電子クリーンルームは静電気に対する要求が非常に厳しい。
その中でも湿度に対する要求は厳しく、乾燥しすぎるプラントでは静電気が発生しやすく、cmos集積化にダメージを与える可能性があります。
一般的に、電子工作所の温度は22℃前後、相対湿度は50 ~ 60%の間で管理する必要がある(特別な清掃作業所には温度と湿度の規制がある)。このとき、静電気は効果的に除去され、人々は快適に感じることができます。
チップ製造工場、集積回路クリーンルーム、ディスク製造工場は、エレクトロニクス製造業界のクリーンルームの重要な構成要素です。
電子制品は、制造・生産過程での室内の空気環境や品質に対する要求が非常に厳しいため、主に粒子や浮遊する粉塵を抑制することを主な対象としています。同時に、環境の温度や湿度、新鮮な空気の量、騒音なども厳しく規制されています。
清潔に最も影响
巨大な浄化システムとして、クリーンルームは広い面積を持っていますが、複雑な機能パーティションと対応するバッファー支持室に分割する必要があり、これらは一緒に複雑な空気の供給と返却システムを構成します。
そのため、クリーンルームの清潔度が不適格となる要因は多くあります。は、主として:
(1)設計レベルとエアコンのレイアウト
クリーンルームの設計レベルや空調レイアウトは、クリーンルームの清潔度に直結します。
(2)着工水准
工場全体の建設品質、空調システム、空気供給システム、下水道システムなどの保証設備の設置品質は、クリーンルームの清潔度と密接に関系しています。
(3)気流組織
空気の流れの組織が不合理な場合、供給空気の流れが作業領域を完全にカバーすることはできません。
送風口と送風口の位置が不合理であると渦電流が大きくなり、一方向流クリーンルームの気流たわみ角が大きすぎます。
リターンエアグリルの開口部を無理に配置すると、リターンエアスピードが高くなりすぎて、空気が滑らかになりません。
(4)高効率フィルタ
高効率フィルター品質の問題や設置の問題により、クリーンルームに送り込まれた空気が効果的に濾過されず、空気中に浮遊している一部の粉塵が濾過されず、クリーンルームの清浄度が不合格になります。
(5)エア交換回数
十分な空気交換が行われないと、クリーンルーム内の汚染された空気がすぐにクリーンルームから排出されず、また、空気交換が低すぎると粉塵源の汚染を抑制することができません。
(6)静圧差
静圧差が適切でないため、クリーンルームに外部汚染物質が侵入するのを防ぐことができません。
(7)航空シャワー
エアシャワー室は、クリーンルームへの出入りによる汚染問題を低減するため、クリーンルームへの進入に必要な通路として使用されます。したがって、その品質はクリーンルームの清潔度に密接に関係しています。
(8)装備配置
室内設備の不適切な配置は、クリーンルーム内の上から下へ、中央から周辺への空気の流れに影響を与え、乱気流を引き起こし、汚染物質がクリーンルームから効果的に排出されないようにします。
(9)新しい設備の入居
新しい機器を導入するプロセスでは、クリーンルーム環境と外部の雰囲気を接続する必要があります。そのため、機器の搬入時間や搬送・拠付工程を厳しく管理する必要があります。同時に、機器の外側のパッケージは、厳密に拭き取り、洗浄してから搬入する必要があります。
(10)化学物質
また、製造工程において原料や誘導体に含まれる化学物質が揮発性を生じ、クリーンルームの清浄度に影響を与えます。
(11)掃除レベル
クリーンルームを不完全に清掃すると、汚染物質が部屋に蓄積し、衛生上の盲点が生じます。
(十二)人事と物質の操作
クリーンルームの操作中に、人や材料の移動は、汚染に敏感な活動の周りに空気の乱流を容易に発生する可能性があり、これは清潔度の汚染の主な原因です。
過度の材料の流れ、作業者の過剰な数、清潔な衣服の不適切な着用は、すべて過度の粉塵放出を引き起こします。
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