クリーンルームファンフィルター(ffuとも呼ばれる)は、クリーンルームなどの制御された設定できれいな空気を供給するために設計された自己完結型の電動システムです。これらのユニットは、ファンと高効率粒子状空気(hepa)または超低透過空気(ulpa)フィルターを組み合わせています。クリーンルームの上にプレナム領域に配置'フィルターに空気を通すことで清浄な空気を供給し、繊細な作業に欠かせない汚染のない環境を維持します。
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