電子クリーンルームを構築するための要件は何ですか?

コンピュータ、マイクロエレクトロニクス、情報技術の発展に伴い、電子機器製造業の急速な発展が促進され、クリーンルーム技術の開発も推進されています。同時に、クリーンルームの設計にはより高い要件が提案されています。

電子機器製造業のクリーンルームの設計は、総合的な技術です。電子制造業界の無粉塵工場の設計特性を十分に理解し、合理的な設計を実現してこそ、電子制造業界の製品欠陥率を下げ、生産効率を高めることができる。

電子クリーンルームの特長

清浄度が高いことが求められます。風量、温度、湿度、圧力差、機器排気はオンデマンドで制御されます。照明やクリーンルーム部分の風速は、設計や仕様に応じて制御されています。さらに、このタイプのクリーンルームは静電気に対する要求が非常に厳しい。その中でも湿度に対する要求は特に厳しく、乾燥しすぎるプラントでは静電気が発生しやすく、cmos集積化に支障をきたす可能性があります。

1. 一般的に言えば、の温度 電子いくつです 22℃前後に調節し、相対湿度は50-60%に調節する(清潔な工房では温度と湿度の規制がある)。このとき、静電気は効果的に除去され、人々は快適に感じることができます。

2. チップクリーンルーム、集積回路クリーンルーム、ディスク製造工場は、エレクトロニクス製造業界のクリーンルームの重要な構成要素です。電子制品は、制造・生産過程での室内の空気環境や品質に対する要求が非常に厳しいため、粒子や浮遊粉塵の制御が主な目的です。同時に、環境の温度や湿度、新鮮な空気の量、騒音なども厳しく規制されています。

3. 電子製造工場の1万クラスクリーンルームの騒音レベル(エンプティステート)は65 dbを超えない(a)。

4. 電子機器製造工場のクリーンルームでは、クリーンルームの垂直流クリーンルームの膨満率が60%を下回ってはならず、水平方向の一方向流クリーンルームは40%を下回ってはならず、そうでなければ部分的な一方向流となります。

5. クリーンルームと電子機器製造工場外の静圧差は10 pa以上、空気清浄度の異なるクリーンエリアと非クリーンエリアの静圧差は5 pa以上であること。