半導体産業におけるチップ製造工場のクリーンルーム規格

1. いくつです年生基準

クリーンルームのグレードは、通常、空気中に許容される粒子の数とサイズに応じて分割されます。iso 14644は、通常、等級分類のために国際的に使用されます。この規格によると、クリーンルームのグレードは高いものから低いものまであります:iso 1-9。

クリーンルームの基準は、特定の業界およびアプリケーションによって異なる可能性があることに注意してください。半導体チップの製造では、製造されたチップの品質と性能が期待に応えることを保証するために、クリーンルームに対する標準要件は通常より厳しくなります。

クリーンルームのグレードに分けることができます:グレード1>10> 2年(100> 2年(1000> 2年(10000> 2年(見。

グレード1クリーンルームは、主に集積回路を製造するマイクロエレクトロニクス産業で使用され、集積回路に要求される精度はサブミクロンです。

グレード10クリーンルームは、帯域幅が2ミクロン未満の半導体産業で主に使用されます。

グレード100清浄度は広く適用可能で、ほとんどの業界の清浄度ニーズを満たすことができます。製薬業界の無菌製造技術に使用できます。このクリーンルームは、移植手術やインテグレーター製造のほか、特に細菌感染に敏感な患者の隔離治療にも使用できます。

クラス1000クリーンルームは、主に精密光学製品を生産するために使用されます。また、航空機ジャイロスコープのテストと組み立て、微細マイクロベアリングの組み立てなどにも使用されます。

クラス1万のクリーンルームは、油圧機器や空気圧機器の組み立てに使用でき、場合によっては食品・飲料業界でも使用されます。また、1万級のクリーンルームは、医療業界でも広く使用されています。

2. 安全を

半導体クリーンルームの装飾は安全要件を満たす必要があります。一般的に半導体のクリーンルームには引火性物質や爆発性物質が多く含まれているため、防炎や爆発防止などの国家安全規定を守る必要がある。また、環境汚染と従業員の健康と安全を考慮して、装飾材料が国家基準を満たし、人間の健康に害を及ぼさないことを保証する必要があります。

3. クリーンルーム空気処理システム

半導体cleanroomsワークショップ内の空気の清潔さを確保するために、空気処理システムが必要です。空気処理システムは、主にエアフィルター、エア供給システム、リターンエアシステム、排気システムで構成されています。中でもエアフィルターは、空気中の粒子状物質や微生物を効果的に除去できる重要な部品です。

4. 床、壁、天井の装飾

半導体クリーンルームの装飾では、床、壁、天井の装飾が非常に重要です。床は、エポキシ樹脂の自己レベリング床やpvcプラスチックの床のような耐摩耗性、帯電防止、きれいな材料で作られている必要があります;壁と天井は、アルミニウムなどの腐食性、帯電防止、洗浄しやすい材料で作られている必要があります サンドイッチ パネル、ステンレスパネル、ガラスカーテンウォールなど。

5. ランプやソケットなどの電気設備のレイアウト

半導体クリーンルームの装飾では、ランプとソケットのレイアウトも非常に重要です。埃や微生物などの汚染物質が工場内に侵入しないように、これらの装置は天井や壁の高さの上に設置し、静電気を防ぎ、粉を落とさない材料を選択してください。

6. ドア、窓、きれいな作業台および他の設備

半導体クリーンルームの装飾ではいくつですドア、窓いくつですクリーンな作業台やその他の設備にも特別な配慮が必要です。ドアや窓は、良好なシール性能と洗浄しやすい材料で作られなければなりません。例えば、ステンレス製のドアや窓。クリーンな作業台は、ステンレス鋼の作業台など、粉体、スラグ粒子が落ちない、耐食性があり清掃が容易な材料で作られている必要があります。